震动补偿器

震动补偿器是通过主动产生反向振动来抵消设备振动的智能装置，主要由三大部分构成：

传感系统：采用MEMS加速度计（精度±0.1mg）实时采集振动信号

控制单元：基于FPGA的运算平台（响应时间＜0.5ms）

执行机构：包含电磁式（出力200N）、压电式（分辨率1nm）等类型

关键技术指标对比

参数工业级级补偿频率范围5-500Hz0.1-1kHz0.01-2kHz振幅率≥85%≥≥相位延迟＜15°＜5°＜1°

典型应用案例

数控机床：

补偿主轴振动（主要频段50-300Hz）

表面粗糙度40%

光学平台：

隔振后位移＜10nm RMS

适用于电子束光刻等工艺

选型指南

确定主振频率（建议进行FFT分析）

计算所需补偿力（F=m×a）

选择合适执行器类型：

＜100Hz电磁式

＞500Hz建议压电式