振动补偿器

振动补偿器是主动抵消机械系统振动能量的智能装置，通过实时检测-计算-输出反相位力的闭环控制，可实现振动幅度降低90%以上。相比传统隔振垫，具有三大突破：

动态响应特性：采用MEMS加速度传感器（采样率10kHz）+高速DSP（运算周期0.1ms）的响应架构

多自由度控制：XYZ三向振动同步补偿，各向耦合误差＜3%

自适应算法：LMS滤波算法在线新控制参数，适应转速突变等工况

关键技术参数矩阵

指标电磁式压电式液压式补偿力范围0-500N0-5kN0-50kN频响带宽0-200Hz0-1kHz0-50Hz定位精度±0.01mm±0.001mm±0.1mm典型应用半导体光刻机测量平台重型机床